Blockpraktikum Mikroelektronik für externe Nutzer
Solarzellen Marke Eigenbau als Lehrexport

Für Studierende der Fachhochschule Aschaffenburg veranstaltet der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (Prof. Dr.-Ing. Heiner Ryssel) der Universität Erlangen-Nürnberg in der Zeit vom 15. bis 19. September 2003 ein einwöchiges Blockpraktikum in seinen hochmodernen Laborräumen.

Die Aschaffenburger Studierenden der Elektrotechnik lernen anhand der Herstellung einer Solarzelle die wichtigsten Schritte der Halbleitertechnologie kennen, die auch bei der Fertigung von Mikroprozessoren oder Speicherchips zum Einsatz kommen. Die auf Eigeninitiative der beiden Hochschulen entwickelte Veranstaltung wird von Wissenschaftlern und Technikern des Lehrstuhls betreut und ist inzwischen fester Bestandteil des Studienplans der Vertiefungsrichtung Mikroelektronik an der Fachhochschule Aschaffenburg.

Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente betreibt in Kooperation mit dem Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie ein umfangreich ausgestattetes Halbleitertechnologielabor. Geräte und Reinraumtechnik auf dem neuesten Stand der Technik bieten eine optimale Forschungsumgebung und gewähren den Studierenden Einblicke in aktuelle Fragestellungen der Mikroelektronik.

Weil Aufbau und Unterhaltung derartiger Einrichtungen finanziell und personell sehr aufwendig sind, findet man ein vergleichbares Umfeld für gewöhnlich nur in den Chipfabriken der Halbleiterindustrie. Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente ist daher seit langem bemüht, seine Kapazitäten auch externen Nutzern zur Verfügung zu stellen. Ein Beispiel dafür ist das Blockpraktikum "Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente", das seit dem Jahr 2000 jeweils im Herbst für die Fachhochschule Aschaffenburg durchgeführt wird.

Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente beschäftigt sich mit den physikalischen Grundlagen von Halbleiterbauelementen und deren Herstellungsverfahren. Neben der Erforschung neuer Bauelemente und Herstellungsschritte sind die Entwicklung von Fertigungsgeräten und von Software für die Prozess- und Bauelementesimulation Hauptarbeitsgebiete des Lehrstuhls.

Dem Lehrstuhl stehen insgesamt 1000 m2 Reinraumfläche zur Verfügung. Moderne Reinraum-, Geräte- und Messtechnik bieten die Voraussetzungen, den Forschungsaufgaben im Bereich der Mikroelektronik gerecht zu werden. Der Lehrstuhl arbeitet eng mit dem von Prof. Dr.-Ing. Heiner Ryssel in Personalunion geleiteten Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) zusammen.

Weitere Informationen

Dipl.-Ing. Michael Jank
Tel.: 09131/85 -28637
E-Mail: jank@leb.eei.uni-erlangen.de

Mediendienst FAU-Aktuell Nr.3284 vom 09.09.2003