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perfekte kristalle für die mikroelektronik
 

Innovationspreis Mikroelektronik 2002
Perfekte Kristalle für die Mikroelektronik

Marc Hainke, Dr. Thomas Jung, Flaviu Jurma-Rotariu, Dr. Matthias Kurz, Dr. Michael Metzger und Artur Pusztai sind die Gewinner des mit 3 000 Euro dotierten “Georg-Waeber-Innovationspreises 2002“. Der vom Förderkreis für die Mikroelektronik e.V. ausgeschriebene Preis wurde im Rahmen des “27. Tages der Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik der Universität Erlangen - Nürnberg“ von Förderkreis-Vorsitzenden Dr. Dietrich Ernst überreicht.

Hainke, Jung, und Jurma-Rotariu kommen von der Abteilung Kristallzüchtung des Fraunhofer IISB in Erlangen, Kurz, Metzger und Pusztai sind ehemalige Mitarbeiter des Kristallabors am Institut für Werkstoffwissenschaften der Universität Erlangen-Nürnberg. Ausgezeichnet wurden sie für ihre gemeinsame Arbeit “Entwicklung und Kommerzialisierung des Softwareprogramms CrysVUn zur Optimierung von Kristallzüchtungsprozessen für die Mikroelektronik“.

In der Mikroelektronik spielen Halbleiter-Einkristalle eine Schlüsselrolle. Auf die in so genannte Wafer geschnittenen Einkristalle werden die elektronischen Bauelemente aufgebracht, die in Computern, Mobiltelefonen, Fernsehgeräten, Autos usw. zu finden sind. Dies gilt nicht nur für den Basiswerkstoff, den Halbleiter Silizium, sondern auch für etliche Komponenten, die in der Halbleitertechnologie eingesetzt werden (z.B. Kalziumfluorid-Einkristalle als Linsenmaterial für die Lithographie). Für die Herstellung dieser Kristalle (“Kristallzüchtung“) ist der Einsatz der numerischen Prozesssimulation ein unverzichtbares Hilfsmittel geworden, vor allem um in der Industrie Zeit und Kosten für die Anlagen- und Prozessentwicklung zu sparen.

Dem Preisträger-Team ist es gelungen, mit CrysVUn innerhalb von wenigen Jahren ein völlig neues Softwareprogramm zu entwickeln, das sich neben seiner Leistungsfähigkeit vor allem auch durch eine enorme Benutzerfreundlichkeit auszeichnet. Mit der Software können CAD-Konstruktionszeichnungen automatisch eingelesen und der komplexe Aufbau einer Kristallzüchtungsanlage erfasst werden.

Förderkreis Mikroelektronik e.V.
Der Innovationspreis Mikroelektronik wird jährlich für herausragende wissenschaftliche Leistungen ausgeschrieben und ist mit 3 000 Euro dotiert. Bei der Beurteilung durch die Jury werden insbesondere der Erkenntnisfortschritt für die Mikroelektronik berücksichtigt und Wert auf die praktische Verwertung durch die gewerbliche Wirtschaft gelegt.

Der Förderkreis Mikroelektronik e.V. ist ein Zusammenschluss von ca. 25 Unternehmen, zwei Fraunhofer-Instituten, vier Lehrstühlen der Universität Erlangen-Nürnberg und der IHK Nürnberg für Mittelfranken. Der Förderkreis verleiht jährlich auch einen Jugendpreis, vergibt Stipendien, fördert technisch-wissenschaftliche Veranstaltungen und Kooperationen zwischen Forschung, Entwicklung und Anwendung.

Weitere Informationen:

Förderkreis für die Mikroelektronik e.V.
c/o IHK Nürnberg für Mittelfranken
Knut Harmsen
Tel. 0911/1335-320

 

Mediendienst FAU-Aktuell Nr.3259 vom 31.07.2003

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