Innovationspreis
Mikroelektronik 2002
Perfekte Kristalle für die Mikroelektronik
Marc Hainke, Dr. Thomas Jung, Flaviu Jurma-Rotariu, Dr. Matthias
Kurz, Dr. Michael Metzger und Artur Pusztai sind die Gewinner des
mit 3 000 Euro dotierten “Georg-Waeber-Innovationspreises
2002“. Der vom Förderkreis für die Mikroelektronik
e.V. ausgeschriebene Preis wurde im Rahmen des “27. Tages
der Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik der Universität
Erlangen - Nürnberg“ von Förderkreis-Vorsitzenden
Dr. Dietrich Ernst überreicht.
Hainke, Jung,
und Jurma-Rotariu kommen von der Abteilung Kristallzüchtung
des Fraunhofer IISB in Erlangen, Kurz, Metzger und Pusztai sind
ehemalige Mitarbeiter des Kristallabors am Institut für Werkstoffwissenschaften
der Universität Erlangen-Nürnberg. Ausgezeichnet wurden
sie für ihre gemeinsame Arbeit “Entwicklung und Kommerzialisierung
des Softwareprogramms CrysVUn zur Optimierung von Kristallzüchtungsprozessen
für die Mikroelektronik“.
In der Mikroelektronik
spielen Halbleiter-Einkristalle eine Schlüsselrolle. Auf die
in so genannte Wafer geschnittenen Einkristalle werden die elektronischen
Bauelemente aufgebracht, die in Computern, Mobiltelefonen, Fernsehgeräten,
Autos usw. zu finden sind. Dies gilt nicht nur für den Basiswerkstoff,
den Halbleiter Silizium, sondern auch für etliche Komponenten,
die in der Halbleitertechnologie eingesetzt werden (z.B. Kalziumfluorid-Einkristalle
als Linsenmaterial für die Lithographie). Für die Herstellung
dieser Kristalle (“Kristallzüchtung“) ist der Einsatz
der numerischen Prozesssimulation ein unverzichtbares Hilfsmittel
geworden, vor allem um in der Industrie Zeit und Kosten für
die Anlagen- und Prozessentwicklung zu sparen.
Dem Preisträger-Team
ist es gelungen, mit CrysVUn innerhalb von wenigen Jahren ein völlig
neues Softwareprogramm zu entwickeln, das sich neben seiner Leistungsfähigkeit
vor allem auch durch eine enorme Benutzerfreundlichkeit auszeichnet.
Mit der Software können CAD-Konstruktionszeichnungen automatisch
eingelesen und der komplexe Aufbau einer Kristallzüchtungsanlage
erfasst werden.
Förderkreis
Mikroelektronik e.V.
Der Innovationspreis Mikroelektronik wird jährlich für
herausragende wissenschaftliche Leistungen ausgeschrieben und ist
mit 3 000 Euro dotiert. Bei der Beurteilung durch die Jury werden
insbesondere der Erkenntnisfortschritt für die Mikroelektronik
berücksichtigt und Wert auf die praktische Verwertung durch
die gewerbliche Wirtschaft gelegt.
Der Förderkreis
Mikroelektronik e.V. ist ein Zusammenschluss von ca. 25 Unternehmen,
zwei Fraunhofer-Instituten, vier Lehrstühlen der Universität
Erlangen-Nürnberg und der IHK Nürnberg für Mittelfranken.
Der Förderkreis verleiht jährlich auch einen Jugendpreis,
vergibt Stipendien, fördert technisch-wissenschaftliche Veranstaltungen
und Kooperationen zwischen Forschung, Entwicklung und Anwendung.
Weitere Informationen:
Förderkreis
für die Mikroelektronik e.V.
c/o IHK Nürnberg für Mittelfranken
Knut Harmsen
Tel. 0911/1335-320
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